SAL-3000ϵ��������ALDԭ�ӌӳ��eϵ�y(t��ng) |
|
---|---|
��� | AGUS ALD-ԭ�ӌӳ��eϵ�y(t��ng) |
��̖ | SAL-3000 |
Ʒ�� | AGUS |
�a(ch��n)�� | �ձ����M�� |
SAL-3000 ALDԭ�ӌӳ��eϵ�y(t��ng)
SAL3000��һ���m�����о��͵�ALDԭ�ӌӳ��e�O(sh��)�䣬ԓ�O(sh��)�����ɴ��d6·ǰ�(q��)�w���m����4Ӣ�磨φ100mm�����»��ײ��ϵ��Ĥ��ԓ�O(sh��)���ڱ����˃�(y��u)����Ĥ��ֲ�����߀���Mһ��ͨ�^��׃�Ĥ���������Mһ������Ĥ���|(zh��)��������ԓ�O(sh��)��߀�ɴ��d���iǻ�w��Load lock Chamber��������������e��Ҫ��ձ��o�Ę�Ʒ��
SAL-3000 SAL3000+Load Lock Chamber
���ܼ����c��
1.�Ĥ�|(zh��)���� |
![]() |
·Ĥ�������≤3% @ 100mm |
|
·���ڃ�(n��i)���������c����ȽY(ji��)��(g��u)�������õij��e�����ԣ� |
|
·Ĥ��ɜ�(zh��n)�_�����_һ��ԭ�ӌ��� |
|
·����e�Ƴ̿��_���o����Ĥ��Pin Hole free�� |
|
·�O�ߵ��؏�(f��)�Լ���(w��n)���� |
|
·����ȱ���ܶȵ� |
|
·�ɳ��L�Ǿ��ͻ�Y(ji��)����Ĥ���x��ضȣ� |
|
2.�ɷN��Ĥ������x | |
·���x��Ĥ���e�ڻ����ϱ��棨SAL-3000D���������±��棨SAL-3000U������Ĥ���e�ڻ����±���ɽ����w�����������L(f��ng)�U�� |
|
3. �ɴ��d���iǻ�w��Load lock chamber���������� |
|
4.�D���Ñ��������|�ز����������������ɴ惦30��N�Ĥ������ |
|
5.���C�c���ƙC��һ�w���O(sh��)Ӌ�� |
|
6. �ɴ����N����� |
|
��ʽ��ձ��������l(f��)������β��̎���b�ã�800�����ӟ�����200��ǰ�(q��)�w�ӟ��������˻��O(sh��)����� |